ФР.1.37.2022.42842
Методика измерений толщины многослойной композиции на основе нитридов галлия-алюминия в гетероэпитаксиальных структурах на подложках карбида кремния методом оптической интерференции
| Номер / код | ФР.1.37.2022.42842 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика измерений предназначена для измерений толщины многослойной композиции на основе нитридов галлия-алюминия в гетероэпитаксиальных структурах на подложках карбида кремния методом оптической интерференции. |
| Измеряемая величина | Толщина многослойной композиции |
| Метод измерений | Метод оптической интерференции |
| Вид измерений | Оптические и оптико-физические измерения |
| Пределы измерений | От 1,1 до 4,0 мкм |
| Характеристика погрешности | ПГО ±25 % (в диапазоне от 1,1 до 2,0 мкм включ.), ПГО ±17 % (в диапазоне свыше 2,0 до 4,0 мкм включ.) |
| Разработчик | Акционерное общество «НИИ Материаловедения» (АО «НИИ МВ») |
| Аттестующая организация | УРАЛЬСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ (УНИИМ-филиал ФГУП "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева") |
| Дата свидетельства | 2022-03-01 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу