ФР.1.37.2025.53076
«Методика измерений толщины и состава эпитаксиальных слоев структуры гетероэпитаксиальной барьерно-диодной на основе соединений InGaAlSb методом рентгеновской дифрактометрии»
| Номер / код | ФР.1.37.2025.53076 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика измерений предназначена для измерения толщины эпитаксиальных слоев структур гетероэпитаксиальных барьерно-диодных на основе соединений InGaAlSb |
| Измеряемая величина | Толщина, мкм; Состав эпитаксиальных слоев, % |
| Метод измерений | Метод рентгеновской дифрактометрии |
| Вид измерений | Оптические и оптико-физические измерения |
| Пределы измерений | Диапазон измерения толщины от 0,03 до 2,00 мкм. Диапазон измерения состава эпитаксиальных слоев от 1 до 100 % |
| Характеристика погрешности | Доверительные границы относительной погрешности, при доверительной вероятности 0,95, составляют ± 5 % для толщины, ± 5 % для состава |
| Разработчик | Федеральным государственным бюджетным учреждением науки «Физический институт им. П.Н. Лебедева» Российской академии наук (ФИАН) |
| Аттестующая организация | ФГБУ "ВНИИОФИ" |
| Дата свидетельства | 2025-09-25 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу