ФР.1.37.2025.53079
«Методика измерений концентрации и подвижности основных носителей заряда в эпитаксиальных слоях структуры гетероэпитаксиальной барьерно- диодной на основе соединений InGaAlSb на основе эффекта Холла»
| Номер / код | ФР.1.37.2025.53079 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Методика измерений предназначена для измерения концентрации и подвижности в эпитаксиальных слоях структур на основе соединений 3 и 5 группы периодической системы химических элементов Д.И. Менделеева, содержащих сурьму |
| Измеряемая величина | Толщина, мкм; Состав эпитаксиальных слоев, % |
| Метод измерений | Метод измерения концентрации и подвижности основных носителей заряда в полупроводниках основан на эффекте Холла. Метод включает в себя определение коэффициента Холла и удельного электрического сопротивления образца при температуре, соответствующей нормальным климатическим условиям от 15 до 35 °С и температуре жидкого азота (до 77 К). |
| Вид измерений | Оптические и оптико-физические измерения |
| Пределы измерений | Диапазон измерения толщины от 0,03 до 2,00 мкм. Диапазон измерения состава эпитаксиальных слоев от 1 до 100 % |
| Характеристика погрешности | Доверительные границы относительной погрешности, при доверительной вероятности 0,95, составляют ± 5 % для толщины, ± 5 % для состава |
| Разработчик | Федеральным государственным бюджетным учреждением науки «Физический институт им. П.Н. Лебедева» Российской академии наук (ФИАН) |
| Аттестующая организация | ФГБУ "ВНИИОФИ" |
| Дата свидетельства | 2025-09-25 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу