ФР.1.37.2026.53950
МИпп-ТЛ-005-01 «Методика измерений фотоскорости (дозы) фоторезистов серии ФРП3651, ФРП3652, ФРП3653. Определение точности воспроизведения фотоскорости (дозы) - отклонение от целевого значения»
| Номер / код | ФР.1.37.2026.53950 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Измерение фотоскорости (дозы) фоторезистов серии ФРП3651, ФРП3652, ФРП3653 |
| Измеряемая величина | Фотоскорость (доза) |
| Метод измерений | Оптико-физический |
| Вид измерений | Оптические и оптико-физические измерения |
| Пределы измерений | см. приложение |
| Характеристика погрешности | см. приложение |
| Разработчик | АО «НИОПИК» |
| Аттестующая организация | ФБУ "УРАЛТЕСТ" |
| Дата свидетельства | 2026-05-18 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу