ФР.1.37.2026.54279
МИпп-ТЛ-006-01 «Методика измерений оптимальной дозы экспонирования при контроле разрешающей способности пленки фоторезиста серии ФРП3651, ФРП3652, ФРП3653»
| Номер / код | ФР.1.37.2026.54279 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | оптимальной дозы экспонирования фоторезиста серии ФРП3651, ФРП3652, ФРП3653 |
| Измеряемая величина | Оптимальная доза экспонирования |
| Метод измерений | Оптико-физические измерения |
| Вид измерений | Оптические и оптико-физические измерения |
| Пределы измерений | См. приложение |
| Характеристика погрешности | См. приложение |
| Разработчик | АО «НИОПИК» |
| Аттестующая организация | ФБУ "УРАЛТЕСТ" |
| Дата свидетельства | 2026-05-25 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу