ФР.1.99.2015.21611
Методика измерений перепадов высот в нанометровом диапазоне методами сканирующей зондовой микроскопии. МИВ-01-2015
| Номер / код | ФР.1.99.2015.21611 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Устанавливает методику выполнения измерений перепадов высот в нанометровом диапазоне с применением сканирующего зондового микроскопа СмартСПМ-1000 |
| Измеряемая величина | Перепад высот |
| Метод измерений | Все значения физических величин определяются прямым методом |
| Вид измерений | Измерения в наноиндустрии |
| Пределы измерений | От 1 нм до 12 мкм |
| Характеристика погрешности | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений перепадов высот исследуемых структур составляет не более ±2% при доверительной вероятности 0,95 |
| Разработчик | ФГОУ ВПО 'МИЭТ' (ТУ) Московский институт электронной техники |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2015-10-19 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу