ФР.1.99.2015.21612
Методика измерений линейных размеров наноструктур методами сканирующей зондовой микроскопии. МИЛ-02-2015
| Номер / код | ФР.1.99.2015.21612 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Устанавливает методику выполнения измерений линейных размеров наноструктур с применением сканирующего зондового микроскопа СмартСПМ-1000 |
| Измеряемая величина | Линейные размеры |
| Метод измерений | Все значения физических величин определяются прямым методом |
| Вид измерений | Измерения в наноиндустрии |
| Пределы измерений | От 1 нм до 100 мкм для латеральных размеров |
| Характеристика погрешности | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров исследуемых структур составляет не более ±2% при доверительной вероятности 0,95 |
| Разработчик | ФГОУ ВПО 'МИЭТ' (ТУ) Московский институт электронной техники |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИМС" |
| Дата свидетельства | 2015-10-19 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу