ФР.1.99.2015.22074
Методика измерений размеров слоев тонкопленочных гетероструктур светодиодных чипов методом просвечивающей электронной микроскопии
| Номер / код | ФР.1.99.2015.22074 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | устанавливает совокупность конкретно описанных операций, выполнение которых обеспечивает получение результатов оценки размерных параметров индивидуальных слоев тонкопленочных гетероструктур светодиодных чипов в диапазоне |
| Измеряемая величина | размер слоев тонкопленочных гетероструктур светодиодных чипов |
| Метод измерений | Метод основан на измерении геометрических параметров индивидуальных слоев тонкопленочной гетероструктуры в активной области светодиодного чипа на предварительно подготовленных поперечных сечениях светодиодных чипов, визуализированных средствами просвечив |
| Вид измерений | Измерения в наноиндустрии |
| Пределы измерений | от 1 до 15 000 нм |
| Характеристика погрешности | предел допускаемой относительной погрешности измерений толщины нанослоев гетероструктур не более 5 % от среднего значения измерений толщин нанослоев. |
| Разработчик | ООО «СМА» |
| Аттестующая организация | ФГУП "ВНИИОФИ" |
| Дата свидетельства | 2015-12-18 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу