ФР.1.99.2023.45352
Методика измерения скорости деградации из-за эволюции фазового состава функциональных тонкопленочных структур в прототипах устройств наноэлектроники и экологически чистых источников энергии
| Номер / код | ФР.1.99.2023.45352 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Предназначена для применения на специализированной станции фазочувствительных методов исследования веществ при измерении скорости деградации поляризации тонких плёнок HfxZryO2 из-за эволюции фазового состава функциональных тонкопленочных структур в прототипах устройств наноэлектроники входящих в состав функциональных структур |
| Измеряемая величина | См. приложение |
| Метод измерений | Измерение скорости деградации из-за эволюции фазового состава функциональных тонкопленочных структур в прототипах устройств наноэлектроники и экологически чистых источников энергии выполняют косвенным методом снятия рентгеновских дифрактограм и измерения поляризации во время приложения серии периодических импульсов напряжения на обкладки тонкоплёночного сегнетоэлектрического конденсатора с дальнейшей математической обработкой результатов |
| Вид измерений | Измерения в наноиндустрии |
| Пределы измерений | См. приложение |
| Характеристика погрешности | См. приложение |
| Разработчик | "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)" (МФТИ, Физтех) |
| Аттестующая организация | ФГБУ "ВНИИОФИ" |
| Дата свидетельства | 2022-12-21 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу