ФР.1.99.2023.45356
Методика измерений фазового состава функциональных структур»
| Номер / код | ФР.1.99.2023.45356 |
|---|---|
| Вид | Аттестованная методика измерений |
| Статус документа | Действует |
| Назначение | Предназначена для применения на специализированной станции фазочувствительных методов исследования веществ при измерении фазового состава тонких плёнок HfxZryO2 входящих в состав функциональных структур. |
| Измеряемая величина | Фазовый состав функциональных структур |
| Метод измерений | Измерения фазового состава тонких плёнок функциональных структур выполняют методом рентгеновской дифракции с использованием синхротронного источника рентгеновского излучения с дальнейшей математической обработкой полученных данных. |
| Вид измерений | Измерения в наноиндустрии |
| Пределы измерений | См. приложение |
| Характеристика погрешности | См. приложение |
| Разработчик | "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)" (МФТИ, Физтех) |
| Аттестующая организация | ФГБУ "ВНИИОФИ" |
| Дата свидетельства | 2022-12-23 |
Источник: ФИФ ОЕИ, реестр 16 «Аттестованные методики (методы) измерений». Текст документа в каталоге не хранится — только реквизиты.
Ведёте реестр методик лаборатории? В QA Деск эту методику можно взять в реестр одной кнопкой — она встанет на верификацию, а показатели и неопределённость подтвердит ваш прогон. Как это устроено · Поиск по каталогу